Miniatūrie vakuumsūkņi ir sūkņi, kas izmanto gāzi kā primāro darba vidi. Tie ir piemēroti ilgstošai -dīkstāvei un darbībai sausā režīmā, jo tie rada vakuumu (negatīvu spiedienu), iedarbinot diafragmu, lai veiktu gāzes iesūkšanu un iztukšošanu, izmantojot motora{2}}virziena kustību. Šajās ierīcēs ir gan iesūkšanas, gan izplūdes sprauslas. Speciālie modeļi ietver divējāda-nolūka sūkšanas/izplešanās un ūdens/gāzes modeļus, lai pielāgotos dažādiem darbības apstākļiem.
Galvenās sastāvdaļas ietver diafragmas sūkni un vakuuma kontrolieri. Tipisks produkts ir Busch RA0020F (sūknēšanas ātrums 20 m³/h, maksimālais spiediens 0,1 mbar). Tehnoloģiju attīstība koncentrējas uz miniaturizāciju, energoefektivitāti un inteliģenci, iekļaujot magnētiskās levitācijas tehnoloģiju, eļļošanas tehnoloģiju bez eļļas un videi draudzīgu dizainu. Galvenie pielietojumi ir medicīnas aprīkojums (sūkšanas ierīces, ventilatori), vides uzraudzība, pusvadītāju ražošana un jaunā enerģētikas nozare. Tika prognozēts, ka vietējā tirgus apjoms 2024. gadā sasniegs 5 miljardus juaņu.